晶体硅是一种重要的非金属材料。制备纯硅的主要步骤如下：

①高温下用碳还原二氧化硅制得粗硅。

②粗硅与干燥HCl气体反应制得SiHCl₃： Si + 3HCl　　　 　SiHCl₃ + H₂

③ SiHCl₃与过量H₂在1000～1100℃反应制得纯硅。

已知SiHCl₃能与H₂O强烈反应，在空气中易自燃。

请回答下列问题：

（1）第①步制备粗硅的化学反应方程式为　　　　　　　　　　    　　　　　　　。

（2）粗硅与HCl反应完全后，经冷凝得到的SiHCl₃（沸点33.0℃）中含有少量

SiCl₄（沸点57.6℃）和HCl（沸点－84.7℃），提纯SiHCl₃采用的方法为：

　　　　                                 　　　　　　　　　。

（3）用SiHCl₃与过量H₂反应制备纯硅的装置如下（热源及夹持装置略去）：

①装置B中的试剂是　　　　　　　　　　　，装置C中的烧瓶需要加热，

其目的是：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　。

②装置D不能采用普通玻璃管的原因是　　　　　　　　　　　　　　　　　　　，

装置D中发生反应的化学方程式为　　　　　　　　　　　　　　　　　。

③为保证制备纯硅实验的成功，操作的关键是检查实验装置的气密性，控制好反应温度以及　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　。

（1） 

（2）分馏（或蒸馏）

（3）①浓硫酸； 使滴入烧瓶中的 SiHCl₃ 气化

②在反应温度下，普通玻璃会软化；SiHCl₃ +H₂              Si +3HCl

③排尽装置中的空气